内容简介:类金刚石薄膜作为新式的薄膜材料,具有优异的红外光学、力学、电学、声学、热学等功能,具有宽广的运用规模。跟着航空航天、红外技能;激光、光纤通信等高科技的开展,对红外光学材料提出了更高的要求。而现在运用的锗、硅、硫化锌、等光学材料,现已不能满意要求,现在国际上非常重视类金刚石薄膜技能。类金刚石薄膜作为新一代的光学材料,它具有一系列优异功能:红外区通明、硬度高、耐磨擦、化学功能安稳、耐热冲击、热膨胀系数小等,能满意日益开展的军用及民用光学仪器的需求。用类金刚石薄膜作窗口维护膜及红外光学系统的红外增透膜及维护膜,有着非常广泛的运用远景。 选用脉冲真空电弧离子镀技能来镀制类金刚石薄膜,具有膜层功能安稳、3.4μm处无吸收峰、办法简略等长处。这一新技能我院具有自主的知识产权。现在咱们已在硅、锗基片上成功地镀制了类金刚石红外增透膜、维护膜,还为国内有关厂商镀制了刀具涂层,经测定在3~5μm和8~12弘m区域均匀透过率超越95%,膜层附着力好,耐磨、耐高低温、耐化学腐蚀。咱们现可镀制类金刚膜,氮化钛、碳化钛、钼、钨、钽等膜,这些膜在红外光学、刀具、磁头维护、芯片维护、表面改性、光滑、装修等范畴有着广泛的运用。